潔凈室不像我們日常生活中的房間，它不允許你隨便進出，它是將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。

   對于潔凈室的潔凈室潔凈程度的維持和控制，除了硬件設備配合投資外，也需要良好的軟件--管理制度來配合，方能維持良好的潔凈度。半導體潔凈室內的微污染來源，經測試分析結果，作業人員占約80％。實驗數據顯示，作業人員進出潔凈室時塵埃有顯著的增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因，人是主要因素。

一、室內的空氣污染源及其傳播途徑

1、室內工作人員

      人員發塵是潔凈室內空氣污染源的最主要來源，占80%~90%。人動作時的發塵量相當復雜，人靜止時的發塵量和激烈活動時的發塵量大約相差10倍。一個人在室內活動時不可能都是激烈活動，如果取這些動作的平均，可以認為一個人在室內活動時的發塵量為其靜止時的5倍，即為：5×105粒/（min?人）。

      根據工藝性質、人的動作的多少和強弱的不同，這個倍數是不同的，可以分為較低和較高兩類，分別為3倍和7倍于靜止發塵量的數值，相應為3×105粒/（min?人）和7×105粒/（min?人）。

      當然，人體發塵量還與服裝有很大的關系，和服裝的洗晾、吹淋等也有很大關系。根據實際使用情況和實驗測定，尼龍綢潔凈服發塵量最少，棉的確良潔凈工作服的發塵量比尼龍綢的大。如果在尼龍綢衣服內加穿一件棉的確良工作服，則可使尼龍綢工作服的發塵量進一步降低。此外，潔凈工作服不宜揉洗，洗后應在潔凈環境中晾干。

2、設備及工藝發塵

      設備的產塵以轉動設備尤為突出，電動機、齒輪轉動部件、伺服機械部件、液壓和氣動啟動器開關或人工操作的設備，都會由于移動著的表面之間的摩擦而產生微粒。日本及西方工業國家對潔凈室常見的不同運轉方式、不同速率、不同材質的機械設備的典型動作和某些電器的產塵進行了相應的實驗研究。對潔凈室的機械、電器污染源給出了一些塵粒散發量的可參考數值，為潔凈室通風設計提供了計算依據。

3、與潔凈室相鄰的污染區域

        與潔凈室周邊相鄰或相通的，較低潔凈度的區域或非潔凈區域，由于人員、材料的進出攜帶的污染空氣，或沉降在人員、物料上的污染物被帶入，是影響室內潔凈度的另一個重要污染來源。合理的正壓差是減少通過圍護結構的縫隙和傳遞窗、門、傳送帶開口等孔洞侵入污染空氣的重要措施。設在門口的氣閘室、緩沖室以及空氣吹淋室也有一定作用。但完全避免周邊污染區域對潔凈室環境的干擾與影響也是困難的，特別是潔凈室在外門的附近區域。因此，關鍵工藝區域宜遠離外門。

4、未經過濾的送風

      在正常情況下，新建、改建潔凈室或是末級過濾器更換后，按規范要求進行了嚴格的驗收檢測，則高效過濾器本身、高效過濾器與支撐框架的接觸面如有泄漏，都應被查出并予以處理。此時，送風系統不存在未經過濾而進入潔凈室的空氣。

      值得防范和注意的是，在生產過程中未按操作規章不慎觸及脆弱的高效過濾器紙芯，或是高效過濾器支撐框架因振動、或是密封膠墊老化、變質而致使高效過濾器與框架接觸面的密封墊或膠條出現裂隙，從而泄漏未經過濾的空氣，污染潔凈室，這也是日常監測工作關注的重點。

5、原材料、包裝等

        對進入潔凈室的設備、材料以及容器、包裝等的預清潔、拆包地點和方法，以及進入潔凈室的程序等，都應該按照潔凈室運行管理的相關規范執行。但即使嚴格按照相關規范和程序操作，仍然難以完全杜絕粘附在原材料、容器、包裝，特別是一些難以徹底清潔的產品的細小組件上的污染物被帶入潔凈室。它們構成了生產過程中的又一個重要污染源，而在這一點上往往容易被忽略。出現問題時，通常把注意力放在尋找空調凈化系統的缺陷上。

二、針對污染源的控制方法

1、控制工藝設備及工藝的產塵

        潔凈室內的工藝設備應選料精良，光潔耐磨，那些轉動、滑動部位格外重要，要盡可能地減少磨損及產塵。對于那些產塵的工藝過程要盡可能地將其封閉或設置圍擋，并輔以排風，形成局部范圍相對于潔凈室的負壓，以限制污染物向潔凈室其他區域擴散。對室內的機器設備定期地進行清潔、擦拭是必要的制度，也是減少積塵二次飛揚的有效措施。

2、不同級別相鄰潔凈室間的壓差

      防止從相鄰的潔凈度較低區域向潔凈室傳播污染的主要方法是：維持高潔凈度區域相對于低潔凈度區域、低潔凈度區域相對于服務區域、服務區域相對于室外有一個合適的正壓值。根據不同的情況，不同級別相鄰房間的正壓值約為5Pa-10Pa。讓不同潔凈度的各級房間維持梯次的壓差，目的是當房間門處于關閉情況時，通過縫隙的氣流流向是由高級別潔凈室流向低級別潔凈室、由低級別潔凈室流向走廊和服務區，再流向室外。

       這樣就可減少由室外向服務區域，服務區域向低級別潔凈室，低級別潔凈室向高級別潔凈室傳播空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好，許多理論研究和實踐都證明，人員、物料通過門時，即便門兩側關門壓差高達50Pa~60Pa，仍難絕對避免隨人員、物料向內移動時的攜帶氣流將污染帶入室內。特別是當門兩側存在溫度差時，門敞開后，即便無人走動，在開口斷面部分面積上也存在逆向氣流，帶入空氣的污染物。

        此外，過高的正壓差還會造成潔凈室的門既難開啟又難關嚴，門縫氣流造成哨聲噪聲，以及因氣流外溢過量而補風量增加，浪費能源和加重各級過濾器的負擔。

3、潔凈室送風的過濾

        潔凈室空調送風系統的末端裝置——高效空氣過濾器或超高效空氣過濾器，在正常情況下能有效過濾經空調機組處理的新風和回風中的顆粒污染物。經高效、超高效空氣過濾器處理后的潔凈空氣送入室內，可有效地排替、沖淡室內污染物，以維持室內的潔凈度。

         但末級過濾器如有破損或過濾器與支撐框架間的密封出現裂隙，氣密性失效，那么未經高效空氣過濾器過濾的空氣就可能攜帶大量污染粒子進入室內并隨氣流擴散，危害影響范圍較大。因此潔凈室投入使用前的末級過濾器檢漏、堵漏或更換工作十分重要。運行過程中防范末級過濾器受損，也十分重要。高效過濾器到達使用壽命后及時更換也同樣應予以關注。