光學電子是研究電子在電磁場中運動和電子束在電磁場中聚焦、成像、偏轉等規律的學科,目前比較常見的有半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造等行業。
科技發展日新月異,對光學電子產品的高精度化和細小化都有了更高的要求。而這些需求,都需要在安全科學的無塵室內完成,所以對光學電子無塵車間技術也有了更高的要求。
在對光學無塵室設計前,應加強對光學微電子行業的認識,了解其基礎知識和特點,并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況,同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。
光學無塵室凈化工程一般包括:1、潔凈生產區,2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等),3、管理區(包括辦公、值班、管理和休息等),4、設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)。
凈化原理:氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→回風百葉窗→初效凈化重復以上過程,即可達到凈化目的。
凈化參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
溫濕度要求:1.溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
2.新風量大。按照目前生產特點,光學無塵室內人員都比較多,可以根據以下數值應取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量,保證室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。送風量大。為了滿足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要300*2.5*30m3/h的送風量(換氣次數,是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300*2.5*20=15000m3/h的送風量。
凈化空調系統方案
1.組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
2.水冷柜機+增壓風柜+高效送風口
3.分體空調柜機+FFU送風口
上述三套方案各有各的特點,都有各自的優缺點,通俗點來說一到三可以說是從高到低的排列。分析對于常規電子廠房潔凈室空調的設計,應根據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案,以滿足生產工藝的要求作為前提。根據以往經驗,對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案對于要求不高的,又要初投資低的,可以選用柜機。總之,具體的方案選擇根據具體情況而定。
以上所述,皆為理想狀態下的基礎配置。任何一項光學無塵室凈化工程,都不可避免有特殊情況,需要在設計是施工時具體分析。所以,要了解更詳盡光學無塵室知識,可以搜索“合景凈化”聯系專業工程師答疑解