一、集中送風方式

這種方式一般是采用數臺大型新風處理機組和凈化循環機組集中設置在空調機房內,空調機房可位于潔凈室的側面或頂部。經過溫度、濕度處理和過濾后的空氣由離心風機或軸流風機加壓后通過風道送入送風靜壓箱,再經由高效過濾器或超高效過濾器過濾后送入潔凈室。回風經格柵地板系統,流入回風靜壓箱再回到凈化循環系統,如此反復循環運行。

二、隧道潔凈室送風方式

這種送風方式一般把潔凈室劃分為生產核心區、維護區,生產核心區要求高潔凈度和嚴格的溫、濕度控制,設在單向流送風區內;維護區要求較低,設置生產輔助設備或無潔凈要求的生產設備的尾部和配管配線等。生產區為送風區,維護區為回風區,構成空氣循環系統。一般隧道式送風是由多臺循環空氣系統組成,所以其中一臺循環機組出現故障不會影響其他區域的生產環境潔凈度,并且各個循環系統可根據產品生產需要進行分區調整控制。

三、風機過濾單元送風方式

這是在潔凈室的吊頂上安裝多臺風機過濾單元機組,構成凈化循環機組,不需要配置凈化循環空調機房,送風靜壓箱為負壓。空氣由FFU送到潔凈室,從回風靜壓箱經兩側夾道回至送風靜壓箱,根據潔凈室的溫度調節需要,一般在回風夾道設干式表冷器。新風處理機可集中設在空調機房內,處理后新風直接送入送風靜壓箱。因送風靜壓箱為負壓,有利于高效過濾器頂棚的密封;但由于FFU機組臺數較多,在滿布率較高時,一般投資較大,運行費用亦多,有的FU噪聲較大,選用時需要注意。

四、模塊式風機單元送風方式

它是由送風機安裝在HEPA或ULPA之上,1臺送風機可配數臺高效過濾器的空氣循環系統,這種模塊式風機單元循環系統是無風管道方式,空氣輸送速度較低,送風機和過濾器維修較方便,能量消耗較少。

五、微環境+開放式潔凈室的送風方式

這種方式是為了確保日益要求生產環境極為嚴格的半導體芯片生產的關鍵工序或設備的微環境控制達到高潔凈度等級(如0.05~0.1μm,ISO1級),而其周圍的開放式大面積潔凈環境僅保持在相對較差的潔凈度等級(如ISo5級或ISO6級),微環境內控制潔凈度嚴格的單向流潔凈環境,而開放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能量消耗較少工藝布置靈活性好,建設投資和運行費用都可以降低。