①潔凈室內墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵,避免眩光、便于除塵,并應減少凹凸面。②踢腳不應突出墻面。③潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當必須采用時宜干燥作業,抹灰應采用高級抹灰標準。墻面抹灰后應刷涂料面層,并應選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質發霉的涂料。

潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚表面應平整、光滑,位于地下的技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。

墻面的主要材料是涂料、板材和卷材。涂料有醇酸磁漆和乳膠漆，前者的質量好，適用于高潔凈度的房間，施工過程高，成本高，后者快干，可在非干墻基層施工。也有過氧化搪瓷，耐酸，耐堿，耐熱，適用于化學腐蝕性氣體。板材有金屬墻板、瓷板、鋁板等。卷材有塑料涂層墻紙和玻璃纖維墻紙。

頂棚材料的選擇主要取決于氣流形式。一般可使用彩鋼夾芯板、鍍鋅鋼板、輕質鋁合金板等。潔凈度嚴格的垂直單向流潔凈室頂棚由鋁合金或不銹鋼骨架、高效過濾器、盲板和鋼結構組成，不僅有利于過濾器的安裝，同時可以根據工藝生產的要求，對潔凈區進行分離和合理的氣流組織，還可以保證室內的美觀和照明均勻。頂棚是潔凈室的主要部分，其形式為流型、照明布置、送風裝置和結構。一般可分為有送風功能的吊頂和無送風功能的吊頂。后者的結構相對簡單。屋頂的表面材料需要平整、清潔，不積累灰塵。具有送風功能的天花板非常復雜。它需要同時滿足供風系統和照明系統的功能要求。送風系統的氣密性性能既要得到保持，而且送風系統中安裝的部件又要得到很好的處理，所以是很復雜。