為防治大氣污染，排入大氣的廢氣必須進行凈化處理，以達到排放標準。在可能的情況下，回收也應被視為將危害轉化為財富。由于暫時缺乏對某些危險氣體的有效處理，高煙囪排放物也可用于在高空擴散污染物，并在更大范圍內稀釋。這種方法并沒有減少排入大氣的污染物總量。凈化有害氣體的方法有四種：燃燒、冷凝、吸收和吸附。

一、燃燒法

燃燒過程是將廢氣中的烴有效轉化為二氧化碳和水的熱氧化工藝，以及其它組分，如鹵素或含硫有機物，也可轉化為允許排放到大氣中或易于回收的物質。燃燒法廣泛應用于有機溶劑蒸氣和碳氫化合物的凈化以及脫臭。用于通風排氣的燃燒法有兩種:熱力燃燒和催化燃燒。

（1）熱力燃燒。熱力燃燒是在明火下的火焰燃燒，但通風排氣中的可燃氣體濃度一般較低，燃燒氧化后放出的熱量不足以維持燃燒，需要依靠輔助燃料。熱力燃燒的反應溫度為600～800℃，工程設計時通常取760℃，滯留時間為0.5s。目前在國內主要利用鍋爐燃燒室或生產用的加熱爐實現。利用鍋爐進行熱力燃燒應注意以下問題:

1、處理的廢氣量應小于燃燒爐所需的鼓風量；

2、廢氣中的含氧量應與空氣中的含氧量相似，如低于18%，則應分別補充空氣；

3、廢氣中不宜含有腐蝕性氣體或顆粒物。

（2）催化燃燒。利用催化劑加快燃燒速度的燃燒過程稱為催化燃燒，即利用催化劑在低溫下實現對有機物的完全氧化。臭味物質多屬有機物，因而催化燃燒還可以用于除臭。含有有機物的廢氣經預處理除去粉塵或其他催化劑毒物（能使催化劑活性迅速下降的物質稱為催化劑毒物）后，由風機送入熱交換器，回收排出廢氣中的余熱。隨后送入預熱器預熱到起燃溫度（250～300℃），再進入催化床反應器進行氧化反應，即所謂完全燃燒。凈化后的廢氣（400～550℃）再經熱回收器放出部分余熱后排空。

采用燃燒法處理有機廢氣，特別是熱力燃燒，必須采取各種安全措施，如控制廢氣中可燃物濃度、防止火焰蔓延、在可能爆炸處設泄壓薄膜等，同時嚴格操作規程、設計各種自動報警、檢測和控制調節裝置也是十分必要的。

二、冷凝法

液體加熱蒸發產生的有害蒸汽可以通過冷凝從廢氣中分離出來。該方法提純效率高，僅適用于高濃度、高冷凝溫度的有害蒸汽。

三、吸收法

低濃度氣體的凈化通常采用吸附法和吸附法。它們是通風排風中有害氣體的主要凈化方法。

當適當的液體與混合氣體接觸并且氣體在液體中的溶解度不同時，除去一個或多個組分的過程稱為吸收。吸收操作廣泛用于有害氣體的凈化，特別是無機氣體，如硫氧化物、氮氫化物、硫化氫、氯化氫等。可同時除塵，適用于處理大氣量的情況。與其它凈化方法相比，成本較低。吸收法的缺點是可以處理排水，凈化效率很難達到100%。

吸收分為物理吸收和化學吸收。物理吸附一般沒有明顯的化學反應，可視為一個簡單的物理溶解過程，如氨水吸附。物理吸收是可逆的，在解吸過程中不會改變吸收氣體的性質。化學吸收則伴有明顯的化學反應。化學吸收的效率要比物理吸收高，特別是處理低濃度氣體時。要使有害氣體濃度達到排放標準要求，一般情況下，簡單的物理吸收是難以滿足要求的，常采用化學吸收。

四、吸附法

使通風廢氣與某種固體物質接觸并利用固體物質的吸附能力去除某些有害成分的過程稱為吸附。吸附用固體材料稱為吸附劑，吸附氣體稱為吸附劑。

五、有害氣體高空排放

環境保護是一門新興的科學，某些有害氣體至今仍缺乏經濟有效的凈化方法，在不得已的情況下，只好將未經凈化或凈化不完全的廢氣直接排入高空，通過在大氣中的擴散進行稀釋，使降落到地面的有害氣體濃度不超過衛生標準中規定的“居住區大氣中有害物質最高容許濃度”。