一、預(yù)處理階段

預(yù)處理的目的主要是將原水(一般為自來水)處理到符合脫鹽設(shè)備的進(jìn)水水質(zhì)要求,經(jīng)常采用的手段有多介質(zhì)過濾、凝聚過濾、活性炭吸附、離子交換軟化、pH調(diào)節(jié)、熱交換、紫外線殺菌(25UV)、超過濾等。

二、脫鹽階段

脫鹽階段主要任務(wù)是將水中的溶解鹽類、TOC、SiO2、DO等處理至達(dá)到精處理階段的進(jìn)水水質(zhì)要求,主要采用的手段有反滲透(一級或兩級)、離子交換（復(fù)床或混合床）、ED、膜脫氣、紫外線除TOC(185UV)和紫外線殺菌(254UV)等。

三、精處理階段

精處理的任務(wù)是最后達(dá)到預(yù)定的水質(zhì)并在輸送過程中保持穩(wěn)定,因此它是一個(gè)不間斷的循環(huán)系統(tǒng),即系統(tǒng)通過的水量應(yīng)為最終使用量的1.3~2倍,未使用的純水返回精處理系統(tǒng)的水箱再循環(huán)。這個(gè)階段主要采用的手段有精混合床(非再生式)、紫外線殺菌、MF、UF、RO等。

四、純水制備、輸送流程

超純水系統(tǒng)流程應(yīng)根據(jù)用水水質(zhì)要求、原水水質(zhì)及運(yùn)行管理、經(jīng)濟(jì)性等因素確定。除了合理確定純水制取的流程外,純水(特別是超純水)的輸送設(shè)計(jì)也是極其重要的。這里主要是出水輸水配管的設(shè)計(jì)及管道材料的選擇。

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度、尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格,而且對細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求。除了嚴(yán)格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用水質(zhì)的關(guān)鍵。

實(shí)踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少盲管段的死水區(qū)，以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間,減小管道微量溶出物(即使用前質(zhì)量最好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響,同時(shí),基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。

對水質(zhì)要求較高的純水管道應(yīng)采用循環(huán)供水方式,并符合下列要求。

1、循環(huán)水量宜為使用量的30%~100%。

2、干管流速宜為1.5~3m/s。

3、不循環(huán)的支管長度應(yīng)盡量短,其長度不宜大于6倍管徑

4、供水干管上應(yīng)設(shè)有清洗接口。

5、管道系統(tǒng)各組成部分必須密封嚴(yán)密,不得有滲氣現(xiàn)象。

純水管道管材選擇是非常重要的,主要考慮三方面的因素

1、材料的化學(xué)穩(wěn)定性。純水是一種極好的溶劑,為了保證純水水質(zhì)在輸送過程中下降最小,必須選擇化學(xué)穩(wěn)定性極好的管材,也就是在所要求的純水中的溶出物最小。溶出物的多少應(yīng)由材料的溶出試驗(yàn)確定,其中包括金屬離子、有機(jī)物的溶出。

2、管道內(nèi)壁的光潔度。管道內(nèi)壁如有微小的凹凸,會(huì)造成微粒的沉積和微生物的繁殖,導(dǎo)致微粒和細(xì)菌兩項(xiàng)指標(biāo)的不合格。目前PVDF管道粗糙度可達(dá)<1μm,而不銹鋼管約為幾十微米。

3、管道及管件的接頭處的平整度。對于防止產(chǎn)生水流的渦流區(qū)是非常重要的。

純水管道的管材必須滿足工藝對水質(zhì)的要求。醫(yī)藥工業(yè)根據(jù)其需高溫消毒和忌諱“氯”的特點(diǎn)主要以不銹鋼為主;而電子工業(yè)則大都采用各種高分子合成的熱塑性材料,如聚氯乙烯(UPVC)、聚丙烯(PP)、丙烯-丁二烯-苯乙烯(ABS)、潔浄聚氯乙烯和聚偏氟乙烯(PVDF)等材料制成的管道、管件及閱門。

除了選擇合適的管材外,管道定期清洗也是保證水質(zhì)的重要手段,主要是防止長期運(yùn)行后,內(nèi)壁產(chǎn)生沉積物及微生物積聚使水質(zhì)下降。因此在設(shè)計(jì)車間內(nèi)純水管道時(shí)要留有排空和清洗的接口。